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硅晶片表面光阻薄膜厚度測量(UV)

  • 儀器品牌島津
  • 經營單位京科瑞達
  • 我們的產品已覆蓋色譜,光譜,質譜三大類共100多個品規,品種全,規格多,能滿足客戶對分析儀器的需求。主要產品有:氣相/液相色譜儀(GC/HPLC)、氣質/液質聯用儀(GCMS/LCMS)、紫外/紅外光譜儀(UV/FTIR)、原子吸收光譜儀(AAS)、等離子體光電直讀光譜儀(ICP/ICP-MS)等。二手分析儀器在醫藥、化工,環保、食品、科研等領域的廣泛應用,有效地解決了客戶對分析儀器“想用買不起”的困擾,受到了廣大客戶的認可。
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詳情介紹

很多方法都可以用來測量薄膜的厚度。這些方法中,紫外可見分光光度計提供了簡便的、對薄膜厚度不造成損害的測量方式。

對硅片上兩個不同厚度的光阻層(0.5 μm, 3.0 μm)進行測量。結果發現,薄膜越薄,波的周期越長,反之亦然。

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紫外可見分光光度計

允許對所有種類的薄膜進行簡易的并且不造成薄膜厚度損害的測量。從薄膜的前后表面反射出的光相互交叉形成一個干涉圖。在一定波長范圍內,薄膜的厚度可通過光譜上波的數量計算得到(在物質的折射率已知的情況下)。


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